主要特性
· 測量參數(shù)：R（直流電阻）、I（直流電流）、ps（表面電阻率），pv（體電阻率）。
· 測量范圍：電阻1*103Ω 至 1x1015Ω；電流1pA至100uA。
· 測量速度：*快9.5ms的測量時間。
· 基本測量精度：2%。
· 4個通道，可用于多個被測件，4個通道可同時測試。
· 接觸檢查功能：可以檢測測試夾具與器件之間的接觸故障，2毫秒/點(diǎn)，保證可靠的測試
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